国内首款LED半导体晶圆倒片机量产

图片说明:上海富赛特智能设备有限公司技术人员检查晶圆复卷机

在显着提高晶圆产量的同时,生产效率也稳步提高。上海福赛特智能设备有限公司自主研发的国内第一台LED半导体晶圆复卷机今年量产,R35 G60科技走廊研发成果填补了行业空白。

9月4日下午,记者走进上海福斯特智能设备有限公司生产车间,看到数十台LED半导体晶圆复卷机排成一列。技术人员正在最终确定将在月底交付给客户的设备。该批设备具有独立的清洁空间,“实现无人操作,最大限度地提高产品质量和产量,同时确保产品信息可以追溯。”公司智能设备部副总经理刘春军说。这批设备交付给了三安集团。作为国内LED晶圆制造业的龙头企业,三安集团对产品质量要求很高。

刘春军告诉记者,该装置用于LED半导体的外延工艺,实现了晶圆从原料仓到PVD(物理气相沉积)工艺以及PVD工艺和MOCVD(金属有机化学气相沉积)工艺之间的转换。在福塞特介绍这一装置之前,主要是人工操作。人工操作带来的污染会对产品质量产生很大的影响,因为人为失误造成的产品或车辆损坏是不小的浪费。而且,手动操作和翻转会中断设备的信息流和数据流,不利于产品信息的跟踪和回溯。福赛斯LED半导体晶圆复卷机的推出,解决了业界的痛点。据介绍,该设备采用了行业领先的清洁机器人、先进的激光传感器和CCD,以及自主研发的载体边缘检测仪,并拥有自主研发的成熟先进的信息系统,能自动产生中枢神经系统。起来。”mes系统实现数据交互,形成一个“外周神经系统”,将各个过程段的独立设备系统即“神经末梢”连接起来,形成一个闭环智能信息系统。同时,可实现晶圆上下自动找边、晶圆自动读校、生产工单开箱分批。

“在集成电路半导体行业,大部分晶圆复卷设备嵌入核心设备,被几家大型外国公司垄断。设备昂贵,生产效率低,不能满足led半导体产业的批量需求。因此,led半导体行业一直没有合适的晶圆倒带解决方案。我们已经开始通过led全过程分析的led外延段。目前,第一台led半导体晶圆复卷机已经批量生产,pss工艺段的第二台产品是pss自动复卷机。这台成膜机已研制成功。目前,我们正在与国内LED主要设备龙头企业洽谈,开发和开发嵌入式晶圆复卷模块,以支持国内新一代MOCVD和PVD设备的开发。”上海福赛特智能设备有限公司总经理张丹说。

“LED半导体晶圆复卷机所包含的电气设计,控制软件,智能算法等知识产权均由我公司自主研发。该设备的成功开发实现了中国半导体行业的高端设备。重大突破在该领域打破了外国巨头的长期垄断,填补了行业空白。“张丹说。

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